有機廢氣處理時普遍采用的是有機廢氣活性炭吸附處理法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、等離子法等多種原理。下面介紹幾種比較常用的方法：

1、活性炭吸附法

廢氣處理設備活性炭吸附法是利用活性炭內部的微孔，將廢氣中的一種或幾種組分濃集在固體表面，從而與其它組分分開。對于揮發性有機組份的處理活性炭吸附是一種經濟有效的工藝，它有高的吸附效率，大的適應范圍。廢氣處理但活性炭再生工藝較復雜，投資較高。

2、燃燒法

廢氣處理設備用燃燒方法消除有害氣體、蒸氣或煙塵，使其變為無害物質的過程，稱為燃燒凈化，燃燒凈化時所發生的化學作用高要是燃燒氧化作用及高溫下的熱分解。有機氣態污染物燃燒氧化的結果，生成了CO2和H2O。燃燒凈化方法分為直接燃燒和熱力燃燒。

3.催化燃燒法

廢氣處理設備催化燃燒是典型的氣-固相催化反應，其實質是活性氧參與的深度氧化作用。在催化燃燒過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑表面具有吸附作用，使反應物子富集于表面提高了反應速率，加快了反應的進行。借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量熱能。該工藝具有處理效率高，無二次污染。但該工藝投資較大，對有機廢氣的有機物的濃度有一定的要求及經營管理與操作水平要求較高等缺點。因此在選用中受到了相應的限制。